主氣源:
廠務氣源 → MVHS-15A(滑動洩壓閥) → 吹塵氣槍
→ 設備氣源
真空吸筆:
廠務氣源 → MVHS-15A(滑動洩壓閥) → 設備氣源 → MV-15-F-04(機械閥) → 真空吸筆
設備氣缸:
廠務氣源 → MVHS-15A(滑動洩壓閥) → 設備氣源 → VFS3110-5E-03(電磁閥) → 6V0510M5B050(-8F八連座*2、-4F四連座)
→ LD/ULD/TrayMove 控制氣缸
真空產生器:
廠務氣源 → MVHS-15A(滑動洩壓閥) → 設備氣源 → VFS3110-5E-03(電磁閥) → CVX-1531-SC2(808)(正壓真空產生器八連座*2)
Floating(測頭浮動頭):
廠務氣源 → MVHS-15A(滑動洩壓閥) → 設備氣源 → VFS3110-5E-03(電磁閥) → ITV1030-RC1BL(電控比例閥) → Floating(測頭浮動頭)
負壓:
HP-200V(真空泵浦) → 負壓儲氣桶 → 測試區負壓切換模組*2